當等離子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面時，荷電在電場浸染下顆粒污染物被集塵極收集。且它在零件設備上還具有下列特征：結構合理、緊湊、體積適中、重量輕、選材壽命長、維護精練、使用耗材成本低。采用深冷法設備，能耗高、投資年夜、下場差。
　　由此可見，低溫等離子廢氣處理設備在功能上具有凈化空氣和調節環境的作用，并且它的組成零件還將朝著多技術型領域不斷發展。