低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。
與傳統的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優點，同時可以得到傳統的化學方法難以達到的處理效果?，F在低溫等離子設備廣泛運用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域。
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